Propriétés du SiC polycristallin CVD

Le SiC polycristallin CVD est produit par dépôt de vapeur chimique.et une forte stabilité dans les environnements de processus propres des semi-conducteurs.

Avantages du produit

Haute pureté

La pureté du SiC peut atteindre99Je suis désolée., contribuant à réduire le risque de contamination des métaux dans les procédés de front-end des semi-conducteurs.

Excellente résistance à la corrosion du plasma

Le SiC CVD maintient une bonne stabilité dans les environnements plasmatiques à base de fluor et de chlore, réduisant l'usure des composants et la production de particules.

Conductivité thermique élevée

d'une capacité de chauffage de240 ∼ 360 W/m·K, le SiC CVD contribue à améliorer l'uniformité du champ thermique et la cohérence du processus.

Stabilité à haute température

Les composants CVD SiC sont adaptés à l'EPI, à la diffusion, au RTP et à d'autres procédés à haute température.

Haute dureté et résistance à l'usure

La haute dureté Vickers offre une excellente résistance à l'usure et contribue à prolonger la durée de vie des composants.

Utilisation sur mesure

Les produits peuvent être personnalisés selon les dessins du client, y compris le diamètre extérieur, le diamètre intérieur, les trous, les rainures, les marches, les chambres, l'état de la surface et la précision de l'assemblage.

Champs d'application

Les composants SiC polycristallins CVD sont largement utilisés dans:

• Équipement de gravure à sec
• Équipement d'épitaxie
• Équipement de four à diffusion
• Équipement RTP
• Pièces OEM pour équipements de semi-conducteurs
• Remplacement de pièces détachées de fabrication de gaufres
• Processus de fabrication de plaquettes à base de Si, SiC, GaN, GaAs

Questions et réponses

Q1: Quels sont les SiC polycristallins CVD?composantsUtilisé pour quoi?

SiC polycristallin CVDcomposantssont principalement utilisés dans le front-end des semi-conducteurséquipement,y compris À secLe graffiti, EPI, diffusion et RTPles systèmes.TypiqueLes produits comprennent:Les anneaux de SiC, SiCélectrodes,le bordles anneaux, les capteurs, les bateaux SiC et les plaquettes fictives.

Q2: Quels sont les avantages du SiC CVD par rapport aux pièces en quartz ou en silicium?

Le CVD SiC offre mieuxcorrosion par plasmarésistance, à haute températurela stabilité, conductivité thermique, dureté etle servicela vieÇa peut.réduire particulegénération etcomposanteporter danssévèreélectroniqueprocessus environnements.

Q3: Quels sont les matériauxà dispositionpour cescomposants?

Nous pouvons fournircomposantsfabriqués à partirCVD SiC, uniquede cristalde silicium, multi-de cristald'une teneur en silicium et en quartz, en fonction de lal'applicationetéquipement exigences.