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Substrat de semi-conducteur
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Plaquettes de quartz fondu : haute pureté, stabilité thermique, clarté optique

Plaquettes de quartz fondu : haute pureté, stabilité thermique, clarté optique

Nom De Marque: ZMSH
MOQ: 5
Prix: by case
Détails De L'emballage: Cartons personnalisés
Conditions De Paiement: T/T
Les informations détaillées
Lieu d'origine:
La Chine
Capacité d'approvisionnement:
Par cas
Mettre en évidence:

Plaquettes de quartz fondu de haute pureté

,

Substrat de semi-conducteur : stabilité thermique

,

Plaquettes de quartz : clarté optique

Description de produit

Gaufrettes de quartz fondu Stabilité thermique et clarté optique de haute pureté pour les applications avancées

Présentation du produit des gaufrettes de quartz fondu

« Silice fondue » ou « Quartz fondu », qui est la phase amorphe du quartz (SiO2). Par rapport au verre borosilicaté, la silice fondue ne contient aucun additif ; elle existe donc sous sa forme pure, SiO2. La silice fondue a une transmission plus élevée dans le spectre infrarouge et ultraviolet par rapport au verre normal. La silice fondue est produite en faisant fondre et en re-solidifiant du SiO2 ultrapur. La silice fondue synthétique, quant à elle, est fabriquée à partir de précurseurs chimiques riches en silicium tels que le SiCl4, qui sont gazéifiés puis oxydés dans une atmosphère H2 + O2. La poussière de SiO2 formée dans ce cas est fusionnée à la silice sur un substrat. Les blocs de silice fondue sont découpés en gaufrettes, après quoi les gaufrettes sont finalement polies.

 


Caractéristiques et avantages clés des gaufrettes de quartz fondu

  • Ultra-haute pureté (≥99,99 % SiO2)
    Idéal pour les processus sensibles à la contamination dans les semi-conducteurs et la photonique.

  • Large plage de température
    Résiste aux environnements thermiques cryogéniques à >1100°C sans déformation.

  • Transmission UV et IR exceptionnelle
    Offre une excellente clarté optique de l'ultraviolet profond (DUV) au proche infrarouge (NIR).

  • Faible dilatation thermique
    Assure la stabilité dimensionnelle sous cyclage thermique, réduisant les contraintes sur les composants.

  • Inertie chimique
    Résistant à la plupart des acides, bases et solvants ; parfait pour les conditions de processus difficiles.

  • Contrôle de la qualité de surface
    Disponible en formats ultra-lisses, polis des deux côtés pour les applications optiques et MEMS.

 


Processus de fabrication

Les gaufrettes de quartz fondu sont produites selon les étapes suivantes :

  1. Sélection des matières premières : Le sable ou les cristaux de quartz naturel de haute pureté sont sélectionnés et purifiés.

  2. Fusion et Fonderie : Les granulés de quartz sont fondus à environ 2000°C dans des fours électriques sous atmosphère contrôlée pour éliminer les bulles et les impuretés.

  3. Solidification et Formation de blocs : Le matériau fondu est refroidi en lingots ou blocs solides.

  4. Découpe des gaufrettes : Des scies à fil de précision découpent le quartz fondu solidifié en ébauches de gaufrettes.

  5. Rodage et Polissage : Les surfaces des gaufrettes sont rectifiées, rodées et polies pour obtenir une épaisseur et une planéité exactes.

  6. Nettoyage et Inspection : Les gaufrettes finales sont nettoyées par ultrasons dans des salles blanches de classe 100/1000 et inspectées pour détecter les défauts.


Applications

Les gaufrettes de quartz fondu sont utilisées dans les industries nécessitant une transparence optique, une durabilité thermique et une résistance chimique :

Semi-conducteurs

  • Gaufrettes porteuses dans les processus à haute température

  • Masques de diffusion et d'implantation ionique

  • Plateformes de gravure, de dépôt et d'inspection

Photonique et Optique

  • Substrats pour revêtements optiques

  • Fenêtres laser et séparateurs de faisceaux

  • Composants optiques de précision UV et IR

Laboratoire et Recherche

  • Porte-échantillons pour instruments analytiques

  • Plateformes de microfluidique et d'analyse chimique

  • Substrats de réaction à haute température

LED et Solaire

  • Gaufrettes de four pour la fabrication de puces LED

  • Substrats en R&D de cellules photovoltaïques


Spécifications disponibles

spécification unité 4" 6" 8" 10" 12"
Diamètre / taille (ou carré) mm 100 150 200 250 300
Tolérance (±) mm 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
Épaisseur mm 0.10 ou plus 0.30 ou plus 0.40 ou plus 0.50 ou plus 0.50 ou plus
Aplat principal mm 32.5 57.5 Semi-encoche Semi-encoche Semi-encoche
LTV (5mm×5mm) µm < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5
TTV µm < 2 < 3 < 3 < 5 < 5
Arc µm ±20 ±30 ±40 ±40 ±40
Déformation µm ≤ 30 ≤ 40 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50
PLTV (5mm×5mm)< 0.4µm % ≥95% ≥95% ≥95% ≥95% ≥95%
Arrondissage des bords mm Conforme à la norme SEMI M1.2 / se référer à IEC62276
Type de surface   Poli sur une face / Poli sur deux faces
Ra côté poli nm ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Critères côté arrière µm général 0.2-0.7 ou personnalisé
 

Avantages techniques

  • Structure vitreuseélimine la biréfringence trouvée dans le quartz cristallin

  • Pas d'axe cristallin—idéal pour un comportement isotrope dans les applications optiques

  • Surface non poreuse et lissepour une meilleure propreté et adhérence du revêtement

  • Convient pour le collage, la découpe et la photolithographie

  • Grades à faible teneur en OHdisponibles pour une meilleure durabilité UV


Questions fréquemment posées (FAQ)

Q1 : Quelle est la différence entre le quartz fondu et la silice fondue ?
Les deux désignent le SiO2 amorphe, mais « silice fondue » implique souvent un verre de haute pureté produit synthétiquement, tandis que « quartz fondu » est dérivé de quartz naturel. Leurs propriétés sont presque identiques dans la plupart des applications.

Q2 : Les gaufrettes de quartz fondu peuvent-elles être utilisées dans des environnements de vide poussé ?
Oui, le quartz fondu a un dégazage extrêmement faible et une stabilité thermique élevée, ce qui le rend idéal pour les systèmes de vide et les applications spatiales.

Q3 : Ces gaufrettes conviennent-elles aux applications laser UV ?
Absolument. Le quartz fondu présente une excellente transmission dans la gamme UV profonde (jusqu'à environ 185 nm), ce qui le rend bien adapté aux optiques laser DUV et aux substrats de masques photographiques.

Q4 : Offrez-vous la personnalisation ?
Oui, nous fabriquons des gaufrettes selon les exigences du client, y compris le diamètre, l'épaisseur, la finition de surface et les motifs de découpe laser.