Vue d'ensemble du produit

Les anneaux en céramique au carbure de silicium sont des composants de précision fabriqués à partir de céramiques de carbure de silicium (SiC) de haute pureté.excellente résistance à la corrosion, haute résistance mécanique et résistance à l'usure supérieure, les anneaux en céramique SiC sont largement utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, les systèmes à vide, les fours à haute température,et applications industrielles de précision.

Grâce à des procédés de formage, de frittage et d'usinage de précision avancés, ces composants peuvent atteindre des tolérances dimensionnelles serrées, des géométries complexes,et d'excellentes finitions de surface pour répondre aux exigences industrielles les plus exigeantes.

Principales caractéristiques

1. Excellente performance à haute température

• Résiste à des environnements à haute température jusqu'à1600°C et plusen fonction de la qualité du matériau et des conditions d'application
• Maintient la résistance mécanique et la stabilité dimensionnelle à des températures élevées
• Idéal pour le traitement thermique, l'épitaxie, la diffusion et les applications de four à haute température

2. Haute pureté et faible contamination

• Fabriqués à partir de matières de carbure de silicium de haute pureté
• Faible production de particules et contamination métallique minimale
• Convient pour les environnements de salle blanche de semi-conducteurs et les applications de traitement des plaquettes

3. Résistance à la corrosion exceptionnelle

• Excellente résistance aux acides, aux alcalis et aux environnements plasmatiques
• Des performances stables contre les gaz de processus agressifs tels que:Cl2, HCl et NF3
• Convient à l'écriture sur semi-conducteurs, aux équipements CVD et PVD

4. Haute résistance mécanique et résistance à l'usure

• Dureté de Mohs d'environ9
• Excellente résistance à l'abrasion pour une longue durée de vie
• Conçus pour les structures de support de précision et les composants mécaniques

5Capacité d'usinage de précision

Les procédés d'usinage disponibles sont les suivants:

• Machinerie de diamètre extérieur et de diamètre intérieur
• Molière et polissage de précision
• Contrôle des tolérances dimensionnelles et géométriques strictes
• Structures complexes sur mesure

Spécifications du produit

Applications

Équipement de fabrication de semi-conducteurs

• Anneaux de support de gaufre
• Composants de chambres à semi-conducteurs
• Pièces d'équipement CVD / PECVD
• Composants des fours de croissance épitaxienne
• Composants RTP (traitement thermique rapide)
• Systèmes de manutention et de soutien des plaquettes

Industrie photovoltaïque

• Composants de fours à haute température
• Appareils de traitement thermique
• Pièces de support de plaquettes de silicium

Systèmes sous vide et à haute température

• Composants de fours sous vide
• Support du système de chauffage
• Structures d'isolation thermique

Applications industrielles de précision

• Anneaux d'étanchéité résistants à l'usure
• Composants de pompes
• Composants de positionnement et de soutien

Questions fréquemment posées ️ anneau en céramique au carbure de silicium (anneau en céramique SiC)

Q1: Qu'est-ce qu'une bague en céramique au carbure de silicium?

A: Je suis désolé.Un anneau céramique au carbure de silicium est un composant céramique de précision fabriqué à partir de carbure de silicium (SiC) de haute pureté.résistance mécanique, et résistance à l'usure, ce qui le rend approprié pour les équipements à semi-conducteurs, les systèmes à vide et les applications à haute température.

Q2: Quels sont les principaux avantages des anneaux en céramique SiC?

A: Je suis désolé.Les anneaux en céramique SiC offrent plusieurs avantages:

• Excellente stabilité à haute température (jusqu'à 1600°C+ selon la qualité du matériau)
• Résistance supérieure à la corrosion plasmique et chimique
• Haute dureté et résistance à l'usure
• Faible expansion thermique et excellente stabilité dimensionnelle
• Génération de particules faibles pour les applications de semi-conducteurs

Q3: Quelles industries utilisent des anneaux en céramique au carbure de silicium?

A: Je suis désolé.Les anneaux en céramique SiC sont largement utilisés dans:

• Équipements de fabrication de semi-conducteurs
• Systèmes CVD, PECVD et PVD
• Équipement de traitement et de manutention des gaufres
• Systèmes de croissance épitaxienne
• Pièces à sous vide
• Appareils industriels à haute température
• Équipement de fabrication photovoltaïque