| Nom De Marque: | ZMSH |
| MOQ: | 2 |
| Prix: | by case |
| Détails De L'emballage: | Cartons personnalisés |
| Conditions De Paiement: | T/T |
Les plaquettes en saphir de 12 pouces sont des substrats en saphir monocristallin de très grand diamètre fabriqués pour des applications de semi-conducteurs et d'optoélectronique avancés.Comparé aux gaufres traditionnelles de saphir de 2 ′′ 6 pouces, les plaquettes en saphir de 12 pouces améliorent considérablement l'efficacité de la production, l'utilisation des matériaux et l'uniformité des appareils, ce qui en fait un choix idéal pour les LED de nouvelle génération, l'électronique de puissance,et technologies d'emballage avancées.
Nos gaufres en saphir de 12 pouces sont fabriquées à partir de cristaux uniques Al2O3 de haute pureté cultivés par des méthodes de croissance de cristaux avancées, suivis d'une tranche de précision, de lapping, de polissage,et une inspection stricte de la qualitéLes plaquettes présentent une excellente planéité de surface, une faible densité de défaut et une grande stabilité optique et mécanique, répondant aux exigences strictes de la fabrication de dispositifs de grande surface.
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Le saphir (oxyde d'aluminium monocristallin, Al2O3) est bien connu pour ses excellentes propriétés physiques et chimiques.Les plaquettes en saphir de 12 pouces héritent de tous les avantages du matériau en saphir tout en fournissant une surface utilisable beaucoup plus grande.
Les principales caractéristiques du matériau sont les suivantes:
Dureté extrêmement élevée et résistance à l'usure
Excellente stabilité thermique et point de fusion élevé
Résistance chimique supérieure aux acides et aux alcalis
Haute transparence optique des longueurs d'onde UV à IR
Excellentes propriétés d'isolation électrique
Ces caractéristiques rendent les plaquettes de saphir de 12 pouces adaptées à des environnements de traitement difficiles et à des processus de fabrication de semi-conducteurs à haute température.
La production de plaquettes de saphir de 12 pouces nécessite une croissance cristalline avancée et des technologies de traitement ultra-précises.
Croissance du cristal unique
Les cristaux de saphir de haute pureté sont cultivés à l'aide de méthodes avancées telles que le KY ou d'autres technologies de croissance de cristaux de grand diamètre, garantissant une orientation cristalline uniforme et un faible stress interne.
Formation et découpe de cristaux
Le lingot de saphir est façonné avec précision et coupé en plaquettes de 12 pouces à l'aide d'un équipement de coupe de haute précision pour minimiser les dommages sous-marins.
Lappage et polirage
Des procédés de polissage mécanique chimique (CMP) en plusieurs étapes sont appliqués pour obtenir une excellente rugosité de surface, une planéité et une uniformité d'épaisseur.
Nettoyage et inspection
Chaque plaquette de saphir de 12 pouces est soumise à un nettoyage minutieux et à une inspection stricte, y compris la qualité de la surface, le TTV, l'arc, la déformation et l'analyse des défauts.
Les plaquettes en saphir de 12 pouces sont largement utilisées dans les technologies avancées et émergentes, notamment:
Substrats LED à haute puissance et à haute luminosité
Appareils de puissance à base de GaN et appareils RF
Les pièces et appareils pour les appareils de fabrication des métaux précieux
Fenêtres optiques et composants optiques à grande surface
Emballages de semi-conducteurs avancés et supports de procédés spéciaux
Le grand diamètre permet un débit plus élevé et une meilleure rentabilité dans la production de masse.
Surface utilisable plus grande pour une puissance de sortie plus élevée par plaquette
Amélioration de la cohérence et de l'uniformité des processus
Réduction du coût par appareil dans la production à grande échelle
Excellente résistance mécanique pour la manutention de grandes dimensions
Spécifications personnalisables pour différentes applications
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Nous offrons une personnalisation flexible pour les gaufres en saphir de 12 pouces, y compris:
Orientation des cristaux (plan C, plan A, plan R, etc.)
Tolérance d'épaisseur et de diamètre
Polissage à un ou deux côtés
Profil de bord et conception de l'encadrement
Exigences en matière de rugosité et de planéité de surface
| Paramètre | Spécification | Les notes |
|---|---|---|
| Diamètre de la gaufre | 12 pouces (300 mm) | Wafer de grand diamètre standard |
| Matériel | Saphir monocristallin (Al2O3) | de haute pureté, de qualité électronique/optique |
| L'orientation cristalline | Le système d'échantillonnage est basé sur les données fournies par les autorités compétentes. | Orientations facultatives disponibles |
| Épaisseur | 430 ‰ 500 μm | Épaisseur personnalisée disponible sur demande |
| Tolérance à l'épaisseur | ± 10 μm | Tolérance restreinte pour les dispositifs avancés |
| Variation totale de l'épaisseur (TTV) | ≤ 10 μm | Assure un traitement uniforme des plaquettes |
| Faites une fleur. | ≤ 50 μm | Mesurée sur l'ensemble de la galette |
| La distorsion. | ≤ 50 μm | Mesurée sur l'ensemble de la galette |
| Finition de surface | Polie à une face (SSP) /polie à double face (DSP) | Surface de haute qualité optique |
| Roughness de surface (Ra) | ≤ 0,5 nm (polie) | Lissure au niveau atomique pour la croissance épitaxienne |
| Profil de bord | Rameau / bord arrondi | Pour éviter les éclaboussures lors de la manipulation |
| Précision de l'orientation | ±0,5° | Assure une bonne croissance de la couche épitaxienne |
| Densité des défauts | < 10 cm2 | Mesurée par inspection optique |
| Plateur | ≤ 2 μm / 100 mm | Assure une lithographie uniforme et une croissance épitaxienne |
| La propreté | Classe 100 ¢ Classe 1000 | Compatible avec la salle blanche |
| Transmission optique | > 85% (UV-IR) | Ça dépend de la longueur d'onde et de l'épaisseur. |
Q1: Quelle est l'épaisseur standard d'une gaufre en saphir de 12 pouces?
R: L'épaisseur standard varie de 430 μm à 500 μm. Des épaisseurs personnalisées peuvent également être produites selon les exigences du client.
Q2: Quelles orientations de cristaux sont disponibles pour les plaquettes en saphir de 12 pouces?
R: Nous offrons des orientations C-plan (0001), A-plan (11-20), et R-plan (1-102).
Q3: Quelle est la variation de l'épaisseur totale (TTV) de la gaufre?
R: Nos plaquettes en saphir de 12 pouces ont généralement un TTV ≤10 μm, ce qui garantit l'uniformité sur toute la surface de la plaquette pour une fabrication de dispositifs de haute qualité.
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