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SiC Wafer Hand pour la manipulation des wafers, compatible avec les salles blanches, résistant à la corrosion, interface personnalisable
Détails sur le produit:
| Nom de marque: | ZMSH |
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Détail Infomation |
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| Densité: | 3.21 g/cm3 | Dureté: | 2500 dureté Vickers |
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| Taille du grain: | 2 à 10 μm | Pureté chimique: | 99.99995% |
| Capacité thermique: | 640J·kg-1 ·K-1 | Température de sublimation: | 2700°C |
Description de produit
Introduction du produit de la main de gaufre
La main de la galette en SiC est un effecteur d'extrémité conçu pour manipuler des galettes à haute dureté et stabilité thermique.il offre une excellente résistance mécaniqueIl est idéal pour le traitement de substrats semi-conducteurs avancés tels que le SiC, le GaN,et le saphir dans les salles blanches et les environnements à haute température.
Structure et principe de fonctionnement de la main de gaufre
La main de la gaufre SiC soutient les gaufres par le bord ou l'arrière en utilisant des structures en forme de fourchette ou des plates-formes personnalisées.ou les poignées mécaniques permettent un transfert sans contact ou à contact minimalSa rigidité structurelle élevée assure une stabilité dimensionnelle pendant le transport, permettant un positionnement précis des plaquettes et un risque de contamination minimal.
Champs d'application de la main de gaufre
Les aiguilles de gaufre sont largement utilisées dans les procédés de semi-conducteurs et optoélectroniques suivants:
1Systèmes de transport des plaquettes (par exemple, EFEM, chargeur FOUP, interfaces SMIF)
2Chargement/déchargement de plaquettes pour la lithographie, la gravure, l'implantation ionique, le traitement thermique
3.Outils d'inspection, de tri et de classification des plaquettes
4- les stations de collage, de découpe, d'emballage et d'essai final
5- manipulation précise dans les panneaux d'affichage, les MEMS et la fabrication de biochips
6Convient pour le Si, le SiC, le GaAs, le GaN, le saphir et autres substrats
Avantages du produitde WÀ main levée
R: Prend en charge les plaquettes de 2 à 12 pouces; des tailles personnalisées sont également disponibles.
Q2: La main de la gaufre rayera-t-elle ou contaminera-t-elle la gaufre?
R: Non. La main est faite de matériaux résistants à l'usure, à faible teneur en particules, avec des bords chanfrés et une salle blanche.
Q3: Peut-il être intégré à des systèmes robotiques?
R: Oui, il prend en charge diverses interfaces robotiques (par exemple, les normes SECS/GEM, SEMI) et peut être personnalisé pour des systèmes spécifiques.
Q4: Quelle est la durée de vie prévue et les exigences en matière d'entretien?
R: Conçu pour plus d'un million de cycles de fonctionnement avec une maintenance minimale; un nettoyage périodique suffit.
Q5: Peut-il être personnalisé sur la base de différents matériaux de gaufre (Si, SiC, Sapphire, etc.)?
R: Oui, nous proposons des conceptions sur mesure optimisées pour différents matériaux de plaquettes avec des structures de support appropriées.
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