Plateau en céramique au carbure de silicium utilisé pour supporter des matériaux Wafers semi-conducteurs Excellente résistance à la corrosion

plateau en céramique au carbure de silicium Utilisé pour supporter des matériaux comme des plaquettes de semi-conducteurs Excellente résistance à la corrosion.

plateaux en céramique au carbure de silicium

Les plateaux en céramique en carbure de silicium (SiC) sont des composants spécialisés conçus pour soutenir les plaquettes semi-conducteurs pendant les processus de fabrication.Ces plateaux peuvent résister à des environnements chimiques agressifs.Leur haute stabilité thermique et leur résistance mécanique assurent des performances fiables dans les applications à haute température.fournissant une plateforme stable pour les processus critiques tels que l'épitaxieLa polyvalence et la durabilité des plateaux en céramique SiC les rendent essentiels dans divers environnements de fabrication avancés, améliorant l'efficacité et la qualité de la production.

graphique des données des plateaux en céramique au carbure de silicium

propriétés des plateaux céramiques au carbure de silicium

• Stabilité thermique élevée:
  Ils peuvent résister à des températures extrêmes, ce qui les rend adaptés à des applications à haute température telles que le frittage et le traitement des semi-conducteurs.

• Résistance mécanique:
  Il présente une résistance et une dureté exceptionnelles, assurant une durabilité et une capacité à supporter de lourdes charges sans déformation ni fissuration.

• Résistance chimique:
  Très résistant à la corrosion et aux attaques chimiques, ce qui leur permet d'être utilisés dans des environnements agressifs, en particulier dans le traitement et la fabrication chimiques.

• Conductivité thermique:
  Facilite une distribution de chaleur efficace, contribuant à maintenir des températures de traitement constantes.

• Faible expansion thermique:
  Il présente un faible coefficient de dilatation thermique, assurant une stabilité dimensionnelle et réduisant le risque de déformation ou de fissuration dans des conditions de température variables.

• Poids léger:
  Malgré leur résistance et leur durabilité, les plateaux en céramique SiC sont relativement légers, ce qui les rend plus faciles à manipuler et à transporter pendant les processus de fabrication.

• Isolement électrique:
  Fournit d'excellentes propriétés d'isolation électrique, ce qui les rend adaptés aux applications électroniques où la réduction de la conductivité électrique est cruciale.

• Options de revêtement CVD:
  De nombreux plateaux en céramique SiC sont équipés d'un revêtement de dépôt chimique de vapeur (CVD), ce qui améliore la résistance à l'usure et offre une protection supplémentaire contre les chocs thermiques.

• Personnalisation:
  Il peut être fabriqué en différentes tailles et formes, ce qui permet une personnalisation pour répondre aux exigences spécifiques de l'application.

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Applications pour les plateaux en céramique au carbure de silicium

• Fabrication de semi-conducteurs:
  Les plateaux en céramique SiC sont essentiels pour soutenir les plaquettes de silicium pendant les processus de fabrication, y compris l'épitaxie, la diffusion et l'oxydation, garantissant des résultats de haute qualité.

• Pour les appareils à combustion interne:
  Ces plateaux sont utilisés dans la production de céramiques avancées, fournissant une plate-forme stable qui peut résister aux températures extrêmes requises dans les processus de frittage.

• Traitement chimique:
  En raison de leur excellente résistance chimique, les plateaux en SiC sont idéaux pour manipuler des produits chimiques agressifs dans les environnements de laboratoire et industriels,souvent utilisés dans les réacteurs et les colonnes de distillation.

• Production électronique:
  Les plateaux en SiC servent de substrat dans la fabrication de dispositifs électroniques, où leurs propriétés isolantes et leur conductivité thermique améliorent les performances et la fiabilité globales.

• Fabrication de composants optiques:
  Utilisés dans la fabrication de composants optiques, les plateaux en SiC supportent des matériaux nécessitant un contrôle précis de la température, contribuant ainsi à des performances optiques de haute qualité.

• Applications dans l'aérospatiale et l'automobile:
  Les plateaux en céramique SiC sont utilisés dans les industries aérospatiale et automobile en raison de leurs caractéristiques de légèreté et de haute résistance.en particulier dans les composants nécessitant une gestion thermique efficace et une résistance à la corrosion.

• Recherche et développement
  Dans le cadre de la recherche et du développement, ces plateaux sont utilisés pour des installations expérimentales impliquant des températures élevées ou des matériaux corrosifs, fournissant une plate-forme robuste pour les tests de matériaux innovants.

• Fabrication de dispositifs médicaux:
  Les plateaux en carbure de silicium sont utilisés dans la production de dispositifs médicaux, offrant des capacités de stérilisation et une résistance chimique dans les environnements de traitement.

photos de plateaux en céramique au carbure de silicium