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November 18, 2025
Catégorie Connexion: Parties en céramique
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Les étiquettes:
#Arme mécanique en céramique d'alumine #Coupe d'aspiration en céramique d'alumine #Al2O3 Alumine céramique
Bref: Regardez cette présentation pour découvrir pourquoi de nombreux professionnels s'intéressent au plateau en carbure de silicium CVD/SSiC de haute pureté pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Découvrez sa résistance mécanique exceptionnelle, sa stabilité thermique et sa précision dimensionnelle, conçus pour les applications industrielles exigeantes.
Caractéristiques Du Produit Connexes:
  • Conçu avec des fentes annulaires multi-zones pour réduire le poids et optimiser le flux thermique.
  • Comporte un réseau de nervures radiales renforcées pour une résistance mécanique et une stabilité rotationnelle accrues.
  • La surface usinée de haute précision garantit la planéité et l'uniformité de l'épaisseur pour les applications de semi-conducteurs.
  • L'interface de montage centralisée permet une installation sécurisée sur les arbres rotatifs et les systèmes automatisés.
  • Le renforcement structurel de la bague extérieure améliore la résistance aux vibrations et la stabilité de la charge périphérique.
  • Disponible en plusieurs matériaux haute performance, notamment le SSiC, le RBSiC, la céramique d'alumine et les métaux à haute résistance.
  • Idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, la production de LED, le traitement de matériaux avancés et la machinerie de précision.
  • Offre une efficacité thermique, une durabilité structurelle, une stabilité de processus et une personnalisation pour divers besoins industriels.
FAQ:
  • Qu'est-ce qu'un plateau en céramique SiC ?
    Un plateau en céramique SiC est un support de précision fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté, conçu pour supporter, charger et transporter des plaquettes ou des substrats lors de la fabrication de semi-conducteurs, de LED, d'optiques et de procédés sous vide. Il offre une stabilité thermique exceptionnelle, une résistance mécanique et une résistance à la déformation dans des environnements difficiles.
  • Quels sont les avantages d'utiliser des plateaux en SiC par rapport aux plateaux en quartz, graphite ou aluminium ?
    Les plateaux en SiC offrent des avantages de performance supérieurs, notamment une résistance aux hautes températures jusqu'à 1600-1800°C, une excellente conductivité thermique, une résistance mécanique exceptionnelle, une faible dilatation thermique, une haute résistance à la corrosion et une durée de vie plus longue dans des conditions de fabrication continues à fortes contraintes.
  • À quelles applications les plateaux en céramique SiC sont-ils principalement destinés ?
    Les plateaux en carbure de silicium (SiC) sont largement utilisés dans la manipulation de plaquettes de semi-conducteurs, les procédés LPCVD, PECVD, MOCVD, le traitement thermique, le recuit, la diffusion, l'oxydation et l'épitaxie, le chargement de plaquettes de saphir/substrats optiques, les environnements à vide poussé et à haute température, et les plateformes de fixation de polissage ou de CMP de précision.
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