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BF33 Borofloat 33 Wafer de verre pour les systèmes optiques MEMS à semi-conducteurs

BF33 Borofloat 33 Wafer de verre pour les systèmes optiques MEMS à semi-conducteurs

Nom De Marque: ZMSH
Numéro De Modèle: Équipement d'implantation d'ions semi-conducteurs
MOQ: 1
Prix: by case
Détails De L'emballage: Cartons personnalisés
Conditions De Paiement: T/T
Les informations détaillées
Lieu d'origine:
Chine
Contenu de silice:
> 80%
Point de tension:
520 ° C
Point de recuit:
560 ° C
Point de ramollissement:
820 ° C
Indice de réfraction:
1.47
Transmission:
>90%
Capacité d'approvisionnement:
Par cas
Mettre en évidence:

Plaquettes en verre à base de borophloate 33

,

plaquettes en verre MEMS à semi-conducteurs

,

plaquette optique Borofloat 33

Description de produit

 

Introduction de la plaque de verre BF33

La plaquette de verre BF33 (BOROFLOAT 33 ou BF 33) est une plaquette de verre flottant en borosilicate de qualité supérieure fabriquée par SCHOTT, reconnue pour ses caractéristiques thermiques, optiques, chimiques,et propriétés mécaniques. Le "33" de son nom fait référence à son coefficient de dilatation thermique (CTE) d'environ 3,3 ppm/°C, une caractéristique qui correspond étroitement au silicium,ce qui en fait un choix privilégié pour les applications de semi-conducteurs et de microélectronique.

 

Le BOROFLOAT 33 est fabriqué à l'aide du procédé de microplotage pionnier de SCHOTT, qui donne un matériau homogène avec une qualité de surface miroir, une grande planéité, une microrougueur minimale,et une clarté optique exceptionnelle..

 

 

BF33 Borofloat 33 Wafer de verre pour les systèmes optiques MEMS à semi-conducteurs 0


 

Composition du matériau et intégrité structurelle de la plaque de verre BF33

La composition du verre de BF33 est approximativement:

  • SiO2

  • B2O3

  • Na2O/K2O

  • Al2O3 

Cette formule présente les principaux avantages suivants:

  • Faible densité, plus léger que le verre soda-calcaire typique, permettant des structures stratifiées légères (par exemple, verre pare-balles).

  • Faible teneur en alcalis, ce qui réduit la lixiviation dans les dispositifs analytiques ou biomédicaux, minimisant les interférences lors des mesures.

 


 

Propriétés thermiques et mécaniques de la gaufre en verre BF33

Performance thermique

  • Coefficient de dilatation thermique (CTE): ≈ 3,25 ppm/°C ≈ un silicium étroitement assorti assure un stress minimal lors des changements de température et est essentiel pour des processus tels que la liaison anodique.

  • Résistance à la température: jusqu'à 450 °C pour une utilisation à long terme et 500 °C pour une utilisation à court terme (< 10 h).

  • Résistance aux chocs thermiques: Sa faible ETC et son intégrité structurelle offrent une excellente résistance aux fluctuations de température rapides, évitant les fissurations ou les déformations.

Résistance mécanique

  • Dureté: Haute dureté Knoop (≈ 480 HK) et résistance à l'abrasion robuste, dépassant de manière significative le verre soda-calcaire ordinaire.

  • Module élastique: Environ 64 kN/mm2 avec un rapport de Poisson de 0,2.

  • Ces caractéristiques rendent le BF33 très résistant à la pénétration, aux rayures et à l'usure mécanique.

BF33 Borofloat 33 Wafer de verre pour les systèmes optiques MEMS à semi-conducteurs 1 


 

Propriétés optiques et chimiques de la plaque de verre BF33

Caractéristiques optiques

  • Haute transparenceIl s'agit d'un dispositif qui permet d'éliminer les rayons UV, les rayons visibles et les rayons infrarouges, avec une autofluorescence très faible, idéal pour les systèmes optiques et analytiques de haute précision.

  • Transmission UV: à 0,5 mm d'épaisseur, transmission > 90% à 308 nm, et toujours > 35% à 248 nm, surpassant sensiblement les autres matériaux minces en verre.

Durabilité chimique

  • Excellente résistance à l'eau, aux acides forts, aux alcalis et aux solvants organiques, ce qui rend le BF33 particulièrement adapté à des environnements chimiques difficiles tels que l'estampage humide, le CMP ou les instruments analytiques.

  • Résistance hydrolytique et corrosiveest de classe 1 selon les normes ISO/DIN.

 


 

Qualité de surface et fabrication des plaquettes de verre BF33

Beaucoup de fournisseurs offrentpolissage à double face (DSP)Les plaquettes BF33, souvent avec une rugosité de surface inférieure à 1 nanomètre (< 1 nm Ra), une TTV étroite (< 10 μm) et des finitions peu défectueuses (par exemple, rayures / creusement 60/40), conviennent aux exigences de microfabrication les plus exigeantes.

Ces spécifications assurent une superbe planéité et une compatibilité de collage, en particulier pourLiens anodiques,décapage au laser, etassemblage optiqueoù la qualité de la surface est critique.

 


 

Applications typiques de la plaque de verre BF33

Les propriétés exceptionnelles du BF33 le rendent un matériau de choix dans divers domaines:

  • Semi-conducteurs et microélectronique: plaquettes porteuses, liaison anodique avec le silicium, éclaircissement des plaquettes, microfluidique, MEMS, capteurs optiques et dispositifs de laboratoire sur puce.

  • Optique et photonique: Optique laser, filtres, miroirs, diapositives microscopiques et optique dans des environnements thermiques exigeants.

  • Analytique et biomédicale: Biochips, plaques de titration, systèmes microfluidiques, outils de diagnostic grâce à une faible autofluorescence et à une pureté chimique.

  • Applications industrielles: Optique à haute température, fenêtres de fours, couvertures de projecteurs, lunettes de vue pour réacteurs chimiques.

  • Technologie énergétique et environnementale: Substrats pour les systèmes photovoltaïques, les capteurs environnementaux et les dispositifs de surveillance environnementale microfluidique.

  • Aérospatiale et défense: composants durables et thermiquement stables tels que les panneaux d'instrumentation, les fenêtres de capteurs et l'optique spatiale.

 


 

Résumé & Avantages de la gaufre en verre BF33

En résumé, la plaquette en verre BF33 / BOROFLOAT 33 offre une combinaison inégalée de propriétés:

 

Les biens immobiliers Valeur
Contenu en silice > 80%
Point de contrainte 520°C
Point de recuit 560°C
Point de ramollissement 820°C
Indice de réfraction 1.47
Transmission > 90%
Module élastique (E) 67 KN/mm2
Résistance à la traction 40 ∼ 120 KN/mm2
Température de fonctionnement (104 dPas) 1220°C
Coefficient de dilatation thermique (20°C à 300°C) 3.3 × 10−6 /K
Le rapport de Poisson 0.2
Densité (20°C) 2.23 g/cm3
Température spécifique 0.9 J/(g·K)
Resistance à l'eau (ISO) Classe 1
Résistance aux acides (ISO) Classe 1
Résistance aux alcalis (ISO) Classe 2

 

Ces attributs en font un substrat polyvalent et haute performance pour les applications où la fiabilité, la précision et la durabilité sont indispensables.

 


 

Conclusion concernant la gaufre en verre BF33

La plaquette de verre BF33/BOROFLOAT 33 se distingue par son substrat de verre borosilicate de premier ordre, conçu par le procédé de microfloat de SCHOTT.haute qualité optique, l'inertie chimique, la robustesse mécanique et l'excellence de la surface le rendent indispensable à toutes les échelles, des emballages de semi-conducteurs avancés aux systèmes optiques de pointe,instruments biomédicaux, et les technologies aérospatiales.

 

Questions fréquemment posées (FAQ) sur les plaquettes de verre BF33

 

C'est quoi le verre BF33?

BF33, également connu sous le nom de BOROFLOAT 33, est un verre flottant borosilicate de haute qualité fabriqué à l'aide du procédé de microfloat exclusif de SCHOTT.haute résistance aux chocs thermiquesIl est souvent fourni sous forme de plaquette pour les applications de semi-conducteurs, microfluidiques et optiques.

 

Quelle est la différence entre le BF33 et le verre ordinaire?

À la différence du verre soda-calcaire, le BF33 contient plus de 80% de silice et un oxyde de bore important, qui:

  • Réduit l'expansion thermique, empêchant les fissures pendant le cycle de température.

  • Augmente la résistance chimique aux acides, aux bases et aux solvants.

  • Améliore la transmission UV et infrarouge.

  • Améliore la résistance mécanique et la résistance aux rayures.

 

 

Pourquoi le verre BF33 est-il largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS?

Sa dilatation thermique correspond à celle du silicium, ce qui permet une liaison anodique sans stress.et autres procédés de salle blanche sans dégradation.

 

 

Les plaquettes de verre BF33 peuvent-elles être polies?

Oui. Les plaquettes BF33 sont souvent fournies sous forme de DSP (double face polissée) ou SSP ((single face polissée) avec une rugosité de surface < 1 nm Ra et une faible variation d'épaisseur totale (TTV),qui est essentiel pour la photolithographie et la liaison des plaquettes.

 

 

 

 

À propos de nous

 

ZMSH est spécialisée dans le développement de haute technologie, la production et la vente de verre optique spécial et de nouveaux matériaux cristallins.Nous offrons des composants optiques SapphireAvec une expertise qualifiée et des équipements de pointe, nous excellons dans le traitement de produits non standard.,L'objectif est d'être une entreprise de haute technologie de matériaux optoélectroniques de premier plan.

BF33 Borofloat 33 Wafer de verre pour les systèmes optiques MEMS à semi-conducteurs 2