Système de contrôle en temps réel SICOI 99,9% de précision de l'algorithme pour la robotique et les machines CNC

Introduction au projet
D'autres produitsCarburesurIsolateur (SiCOI)mincefilmsreprésentera)coupe-le bordclassedecompositeles matériaux,crééeparl'intégrationa)haut-la qualité,à un seul...de cristalde siliciumle carbure (SiC)couchegénéralement500à600nanomètresépaissura)de siliciumle dioxyde de carbone (SiO2)La base.Connupoursonsupérieurthermiquela conductivité,hautélectriquerépartitionrésistance,etexcellenterésistanceàproduits chimiquesla dégradation,SiC,quand?en coupleavecuneisolantsous-produit,permettentLele développementdeappareilscompétentdefonctionnementde façon fiablesousextrêmela puissance,fréquence,ettempératureles conditions.

Principe
SiCOImincefilmspeutêtreFabriquéà traversLe CMOS...compatiblesles techniquescomme çacomme- Je vous en prie.coupeetune galetteles liens,faciliterleurl'intégrationavecconventionnelélectroniqueappareilles plateformes.

Je vous en prie.CoupeTechnique
Une.largementutilisésméthodeIl s'agitLe- Je vous en prie.coupe (Il est intelligent.Coupe)approche,oùa)minceSiCcoucheesttransférésura)sous-produità traversionsimplantationsuivieparune galetteLe lien.C' est ça.la méthodologie,au débutdéveloppépourproduirele silicium-- Je ne sais pas.isolant (Les États membresles plaquettesàéchelle,les visagesles défisquand?appliquéàC'est le SiC.Plus précisément,ionsimplantationpeutintroduirestructureuxles défautsdansSiCJe suis désolé.sontdifficileàréparationpar voie électroniquethermiquele recuit,leaderàsubstantielOptiqueles pertesdansphotoniqueles appareils.En outre,le recuitàtempératuresau-dessus1000°Cle mois de maile conflitavecspécifiqueprocessusIl y a des limites.

ÀdépasséCesles restrictions,mécaniqueéclaircissementpar voie électroniquele broyageetproduits chimiquesmécaniquele polissage (Les effets secondairespeutréduireLeSiC/SiO2Je sais.compositecoucheàen bas1μm,réceptifa)trèsdoucela surface.Réactifionsla gravure (RIE)les offresunecomplémentaireéclaircissementle parcoursJe suis désolé.réduitOptiqueles pertesdansSiCOIles plateformes.Dansparallèle,humideoxydationaidéCMPa étémontrél'efficacitédansréduiresurfaceles irrégularitésetdiffusioneffets,pendant quesuivantehaut-températurele recuitpeutamélioreren généralune galettela qualité.

Des plaquettesLes liensTechnologie
UnealternativeapprochepourFabricationSiCOIles structuresIl s'agitune galetteles liens,oùde siliciumle carbure (SiC)etle silicium (Si)les plaquettessontunissousune pression,en utilisantLepar la chaleuroxydécouchessurles deuxsurfacesàformea)Une liaison.Cependant,thermiqueoxydationdeSiCpeutintroduirelocaliséles défautsàLeSiC/oxydel'interface.Cesles imperfectionsle mois de maiaugmentationOptiquela propagationles pertesoucréerchargele piégeageles sites.En outre,LeSiO2couchesurSiCestsouventdéposésen utilisantle plasmaamélioréeproduits chimiquesvapeurdéposition (PECVD),a)processusJe suis désolé.le mois de maiintroduirestructureuxdes irrégularités.

Àl'adresseCesles problèmes,uneamélioréeméthodea étéétédéveloppépourFabrication3C-SiCOIles chips,quiutiliseanodiqueliantavecborosilicateLe verre.C' est ça.techniqueconservepleineCompatibilitéavecde siliciumle micro-usinage,CMOSles circuits électriques,etSiC-baséphotoniqueintégration.En alternative,dépourvues de formeSiCfilmspeutêtredirectementdéposéssurSiO2/Je sais.les plaquettespar voie électroniquePECVDouéclaboussures,offrandea)simplifiéetLe CMOS...amicaleFabricationle parcours.Cesles progrèssignificativementaméliorerLel'évolutivitéetl'applicabilitédeSiCOILes technologiesdansLa photonique.

Les avantages
Dansla comparaisonàcourantle matérielles plateformescomme çacommele silicium-- Je ne sais pas.isolant (IES),de siliciumle nitrure (SiN),etLithiumniobate-- Je ne sais pas.isolant (LNOI),LeSiCOIplateformeles offresdistincteperformancesLes prestationspourphotoniqueles applications.Avecsonuniqueles propriétés,SiCOIestde plus en plusreconnucommea)prometteurle candidatpourLe prochain...générationquantumtechnologies.C' estcléavantagessont les suivants:

• LargeOptiqueLa transparence:SiCOIles pièces exposéeshautla transparenceà traversa)largespectralegammedeenviron400Nmà5000Nmpendant quemaintenirfaibleOptiqueune perte,avecguide d'ondesl'atténuationgénéralementen bas1dB/cm.

• MultifonctionnelCapacité:Leplateformepermettentdiversitéles fonctionnalités,y comprisélectro-optiquela modulation,thermiqueréglage,etfréquencele contrôle,faireil estadaptépourcomplexeintégréesphotoniquedes circuits.

• Non linéaireOptiquePropriétés:SiCOIles supportsDeuxième...harmonieusegénérationetautresnon linéaireeffets,etil estaussifournita)viablefondationpourà un seul...photonémissionà traversgénie génétiquecouleurLes centres.

Applications

SiCOIles matériauxintégrerLesupérieurthermiqueconductivitéethautrépartitiontensiondede siliciumle carbure (SiC)avecLeexcellenteélectriqueisolationpropriétésdeoxydecouches,pendant quesignificativementaméliorationLeOptiquecaractéristiquesdenormeSiCles substrats.C' est ça.faitIlstrèsadaptépoura)largegammedeavancéeles demandes,y comprisintégréesphotonics,quantumoptique,ethaut-performancespuissanceélectronique.

LeverageLeSiCOIune plateforme,chercheursavoiravec succèsFabriquésvariéshaut-qualitéphotoniqueappareilscomme çacommetout droitdes guides d'ondes,microringsetle disque duravec une résistance de 0,8 MPaphotoniquede cristaldes guides d'ondes,électro-optiqueavec une puissance de sortie inférieure ou égale à:MachZehnder est là.les interféromètres (les IMS),etOptiquefaisceauDes séparateurs.Cescomposantssontcaractériséparfaiblela propagationles pertesetexcellentefonctionnelles performances,fournissantrésistantles infrastructurespourLes technologiesComme ça.quantumla communication,photoniquele signalle traitement,ethaut-fréquencepuissanceles systèmes.

Parutilisationa)mincefilmstructuregénéralementforméparcouchesà un seul...de cristalSiC (Dans les parages500 ¢600Nmépaisseur)sura)de siliciumdioxydesous-produitSiCOIpermettentopérationdansexigeantenvironnementsimpliquanthautla puissance,élargieles températures,etradio-fréquenceles conditions.C' est ça.compositeconceptionles positionsSiCOIcommea)leaderplateformepourLe prochain...générationoptoélectroniqueetquantumles appareils.

Questions et réponses

Quatrième question:- Quoi donc?esta)SiCOIUne galette?
R1: Je suis désolé. UneSiCOI (D'autres produitsCarburesurInsulateur)une galetteesta)compositela structurecomposédea)mincecouchedehaut-qualitéà un seul...de cristalde siliciumle carbure (SiC)liésoudéposéssuruneisolantcouche,généralementde siliciumle dioxyde de carbone (SiO2).C' est ça.la structureles combinesLeexcellentethermiqueetélectriquepropriétésdeSiCavecLel'isolementLes prestationsdeuneun isolant,faireil esttrèsadaptépourles demandesdansphotonics,puissanceélectronique,etquantumtechnologies.

Q2: Quelle est la différence?- Quoi donc?sontLeprincipalel'applicationrégionsdeSiCOIDes galettes?
R2: Je ne sais pas. SiCOIles plaquettessontlargementutilisésdansintégréesphotonics,quantumoptique,RFélectronique,haut-températureles dispositifs,etpuissanceles systèmes.Typiquecomposantsincluentmicroringsavec une résistance de 0,8 MPaMachZehnder est là.les interféromètres (les IMS),Optiquedes guides d'ondes,avec une puissance de sortie inférieure ou égale à:le disque duravec une résistance de 0,8 MPaetfaisceauDes séparateurs.

Quatrième question:Comment?sontSiCOIles plaquettesFabriqué?
A4: SiCOIles plaquettespeutêtreProduiten utilisantvariésles méthodes,y comprisC'est très intelligent.Coupe (- Je vous en prie.coupeetune galettele collage),directementliantavecle broyageetCMP,anodiqueliantavecde verre,oudirectementdépositiondedépourvues de formeSiCpar voie électroniquePECVDouJe suis en train de cracher.Lele choixdeméthodedépendsurLel'applicationetdésiréeSiCfilmla qualité.

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