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Barque à gaufres de quartz de haute pureté et résistante aux températures élevées personnalisable
Détails sur le produit:
| Lieu d'origine: | Chine |
| Nom de marque: | ZMSH |
Conditions de paiement et expédition:
| Quantité de commande min: | 1 |
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Détail Infomation |
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| Pureté des matériaux: | SiO2≥ 99,999% | Point de fusion: | 1730°C (point d'adoucissement) |
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| Capacité maximale des plaquettes: | 25 plaquettes (taille standard) | Résistance aux acides: | Résistant aux acides sulfuriques, azotés et chlorhydriques (sauf HF) |
| Résistance à la corrosion: | 30 fois plus élevé que la céramique, 150 fois plus élevé que l'acier inoxydable | Processus compatibles: | Diffusion par semi-conducteurs, recuit, dopage photovoltaïque, réactions de laboratoire |
| Mettre en évidence: | Barque à plaquettes de quartz de haute pureté,Barque à plaquettes de quartz personnalisable,Barque à plaquettes de quartz résistante aux températures élevées |
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Description de produit
Introduction du produit
Un vaisseau à plaquettes, également connu sous le nom de bateau ou de porteuse, est un outil essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs pour la tenue, le transfert et le positionnement des plaquettes.Sa conception doit résister à des conditions extrêmes telles que des températures élevées (> 1000°C), la corrosion chimique et la décharge électrostatique (ESD) pour assurer la sécurité des plaquettes lors de divers processus.
Principe
Je suis désolée.Alignement et fixation:
Les trous de positionnement sur le bateau s'alignent avec des broches dans la cassette de gaufre, permettant le transfert de lots sans manipulation manuelle.
Les plaquettes à double couche (supérieure et inférieure) sécurisent les plaquettes pendant le cycle thermique (par exemple, le recuit).
Je suis désolée.Gestion du stress thermique:
Le matériau à faible expansion thermique (0,5×10−6/°C) minimise la déformation sous les fluctuations de température.
La structure du nid de miel répartit le stress thermique uniformément.
Compatibilité avec les processus:
Les géométries des fentes (par exemple, de type I, de type V) permettent d'adapter des épaisseurs de plaquettes variables (300 ∼ 800 μm) tout en assurant le débit de réactif en phase gazeuse.
La section transversale en forme de diamant permet un chargement robotique bidirectionnel, améliorant le débit.
Sécurité et protection:
Les composants tampons (ressorts, plaquettes en caoutchouc) absorbent les chocs mécaniques lors du placement des plaquettes.
La purge à l'azote élimine les résidus, ce qui empêche la contamination
Caractéristiques
Le verre à silice fondu est un verre industriel spécialisé fabriqué à partir de dioxyde de silicium (SiO2).
- Je suis désolée.Résistance à haute température:
Point de ramollissement: ~ 1730°C.
Fonctionne en continu à 1100 ∼ 1250 ° C et résiste à une exposition à court terme jusqu' à 1450 ° C.
- Je suis désolée.Inerté chimique:
Résistant à la plupart des acides (à l'exception de l'acide fluorhydrique).
La résistance à la corrosion est 30 fois supérieure à celle de la céramique et 150 fois supérieure à celle de l' acier inoxydable.
Maintient la stabilité dans des conditions thermiques extrêmes, surpassant les autres matériaux.
- Stabilité thermique:
Coefficient de dilatation thermique extrêmement faible (~ 5,5 × 10−7/°C).
Survient aux chocs thermiques (par exemple, chauffage à 1100°C et étanchéité dans l'eau).
- Je suis désolée.Transparence optique:
Transmission spectrale large de l'ultraviolet (UV) à l'infrarouge (IR).
Perméabilité à la lumière visible: > 95%.
La transmittance UV atteint un pic de > 85% dans la plage de 185 à 250 nm.
- Je suis désolée.Isolement électrique:
La résistance est 10 000 fois supérieure au verre ordinaire.
Excellentes propriétés diélectriques même à haute température.
Applications
Photovoltaïque:Traitement thermique des plaquettes de silicium et dopage.
R & D:Réacteurs à haute température à l'échelle du laboratoire et essais de matériaux