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Pinceau de levage en saphir de haute pureté pour le traitement des gaufres à semi-conducteurs
Détails sur le produit:
| Place of Origin: | China |
| Nom de marque: | ZMSH |
Conditions de paiement et expédition:
| Quantité de commande min: | 1 |
|---|---|
| Payment Terms: | T/T |
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Détail Infomation |
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| Matériel: | Crystal Sapphire simple | Dimensions: | Customized |
|---|---|---|---|
| Roughness de la surface: | Ra ≤ 0,02 μm | Working Temperature: | >2000°C |
| Forme de la pointe: | Plate, ronde, conique | Mounting: | Mechanical or Threaded |
| Mettre en évidence: | Pinceau de levage en saphir pour la manipulation de gaufres à semi-conducteurs,Tailles personnalisées épingle de levage saphir,épingle de levage en saphir de haute pureté |
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Description de produit
Introduction du produit
La broche de levage en saphir est une broche de levage en saphir monocristallin de haute pureté, principalement utilisée dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs pour supporter et déplacer des plaquettes.Grâce à sa résistance exceptionnelle aux températures élevées, le saphirL'utilisation d'une broche de levage en saphir réduit considérablement le risque de contamination des plaquettes.prolonge la durée de vie des équipements, et améliore le rendement global du procédé.
Principe de base
Le principe de base d'une broche élévatrice en saphir consiste à soulever ou abaisser avec précision les plaquettes pendant le traitement afin d'assurer un positionnement correct.Plusieurs broches de saphir fonctionnent généralement ensemble pour empêcher la déformation ou les dommages de la gaufre.Parce que la broche de levage en saphir résiste à des températures élevées, au vide et à des environnements corrosifs, elle offre une durée de vie beaucoup plus longue et une fiabilité plus élevée que les matériaux conventionnels.
Les spécifications
| Nom de l'article | Spécification |
|---|---|
| Matériel | Saphir à cristal unique |
| Les dimensions | Personnalisé |
| Roughness de la surface | Ra ≤ 0,02 μm |
| Température de fonctionnement | > 2000°C |
| Coefficient de dilatation thermique | 50,8 × 10−6 /°C |
| Résistance à la flexion | ≥ 400 MPa |
| La transparence | Haute transmission dans la plage visible |
| Résistance à la corrosion | C' est excellent. |
| Forme de pointe | Plate, ronde et conique |
| Montage | D'une épaisseur de 50 mm ou plus |
Applications
Les broches élévatrices en saphir sont largement utilisées dans les équipements de gravure (Etch), de dépôt de vapeur chimique (CVD), de dépôt de vapeur physique (PVD) et de dépôt de couche atomique (ALD).et refroidissementLes épingles de levage en saphir jouent un rôle crucial dans le soutien et le positionnement.Le pin de levage en saphir est devenu un élément central..
Questions et réponses
Q1: Pourquoi choisir une broche de levage en saphir au lieu de la céramique ou du métal?
R1: La broche élévatrice en saphir offre une résistance chimique et une stabilité thermique supérieures, capable d'un fonctionnement à long terme dans des gaz corrosifs et des environnements à haute température.
Q2: La broche de levage en saphir génère-t-elle des particules lors de son utilisation?
R2: En raison de sa surface extrêmement lisse, la broche de levage en saphir présente un risque extrêmement faible de production de particules, ce qui la rend idéale pour les procédés ultra-propres.
Q3: Les différentes machines nécessitent-elles des broches de levage en saphir personnalisées?
R3: Oui, selon le modèle de la machine et les exigences du processus, la broche de levage en saphir doit souvent être personnalisée en taille, en forme et en interface de connexion.
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