épingle de levage en saphir pour semi-conducteurs épingles de levage en céramique épingles de saphir de haute pureté

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Résumé de Sapphire pin de levage

Les épingles élévatrices en saphir sont des composants de précision largement utilisés dans le

équipements de traitement des semi-conducteurs, en particulier pour le traitement des plaquettes,les systèmes de croissance et de dépôt tels que le MOCVD (dépôt de vapeur chimique organique-métallique), le PECVD (dépôt de vapeur chimique améliorée par plasma) et d'autres systèmes à haute température, sous vide,ou environnements corrosifsFabriquées à partir d'oxyde d'aluminium monocristallin (Al2O3), également connu sous le nom de saphir synthétique, ces broches élévateurs sont appréciées pour leur dureté exceptionnelle, leur stabilité thermique, leur résistance chimique, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion, leur résistance à la corrosion.et de durabilité.

Propriétés de la broche élévatrice Sapphire

Les épingles à saphir sont souvent conçues sur mesure

Les avantages des épingles élévatrices en saphir

a. les produits de baseRésistance aux températures élevées

Le saphir maintient sa résistance mécanique à des températures supérieures à 1 500 °C, ce qui le rend bien adapté pour les réacteurs épitaxiaux et les chambres de dépôt où d'autres matériaux peuvent se déformer, s'oxyder ou se dégrader.

b. Les produits Stabilité chimique

Le saphir est chimiquement inerte dans les gaz réactifs et corrosifs tels que le H2, le NH3 et le HF, assurant des performances à long terme dans les environnements de CVD et de gravure.

c. Dureté extrême

La haute dureté de la surface résiste à l'usure et aux rayures du contact de la plaque et de l'actionnement mécanique.

d. Précision dimensionnelle

Le saphir peut être usiné à des tolérances serrées (± 1 μm), assurant une hauteur de levage constante de la gaufre, une précision de positionnement et une fiabilité d'alignement.

e.Génération de particules faibles

Contrairement à la céramique ou aux métaux revêtus qui peuvent se décoller ou s'évaporer sous le cycle thermique, le saphir ne produit pas de particules, ce qui est essentiel pour les salles blanches et les environnements de processus ultra-purs.

f.Longue durée de vie

La résistance à l'usure et la stabilité des saphirs dans des conditions extrêmes contribuent à une fréquence d'entretien plus faible et à une durée de fonctionnement plus longue des équipements.

Image physique de la broche de levage en saphir

Applications des épingles élévatrices en saphir

Les broches élévatrices en saphir sont utilisées dans une gamme de procédés de semi-conducteurs et de matériaux avancés où les plaquettes doivent être manipulées avec précision pendant la fabrication.

a. les produits de base Systèmes MOCVD

• Croissance des semi-conducteurs composés à base de GaN, GaAs et InP

• Production de LED et de diodes laser

• Plaquettes de saphir et substrats prêts à l'épinephrine

b. Les produitsRéacteurs PECVD et LPCVD

• Transfert de gaufre lors du dépôt de film mince à base de plasma

• Utilisé dans la microélectronique, les cellules solaires, les MEMS et la photonique

c.Fours de traitement thermique

• Étapes de recuit, d'oxydation ou de diffusion à haute température

d.Inspection et manipulation des plaquettes

• Systèmes mécaniques supportant ou manipulant temporairement des plaquettes

e.Chambres de gravure et de nettoyage

• Lorsque la résistance chimique est critique lors du pré-nettoyage ou du décapage des plaquettes

Questions et réponses

Q:Quels sont les facteurs clés à prendre en considération lors de l'achat d'épingles en saphir?

A: Je suis désolé.Scénario d'application

• Les conditions matérielles: Déterminer les conditions environnementales auxquelles seront exposées les broches de levage, telles que les températures élevées ou les environnements corrosifs.
• Objectif: choisir une conception adaptée à l'application spécifique (par exemple, mesure spectroscopique, instruments de précision, etc.).

Dimensions et spécifications

• Diamètre et longueur: Sélectionnez le diamètre et la longueur appropriés en fonction de la taille des échantillons supportés ou soulevés.
• Exigences en matière de tolérance: Assurez-vous que les broches de levage répondent aux exigences de tolérance dimensionnelle de votre application pour maintenir la précision.

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