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Oxyde thermique de SiO2 de grande épaisseur sur les plaquettes de silicium pour les systèmes de communication optique

Substrat de semi-conducteur
2023-10-10
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SapphiOxyde thermique de grande épaisseur (SiO2) sur des tranches de silicium pour système de communication optique Généralement, l'épaisseur de la couche d'oxyde des plaquettes de silicium est ... Vue davantage
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